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相位掩膜版是一种表面刻蚀光栅，基底材料为熔融石英的掩膜版，它可以作为精确的衍射光学元件，目前已在多家单位取得广泛应用。
相位掩膜版的制造涉及微细加工和全息技术方面的工作，具体工艺流程复杂苛刻，需要执行一些重要的步骤和计算。
掩膜版有光刻胶影响曝光吗？
光刻掩膜版清洗方法
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