掩膜版 光掩膜基版 光掩膜 光刻掩膜版
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掩膜版有光刻胶影响曝光吗？
【2022-06-21】

光刻是一门比较综合的技术，它采用照相复印的技术，将光刻掩膜版上的图形复制在涂有光刻胶的金属蒸发层上。如果掩膜版受光刻胶污染，很大程度上会影响曝光，带来负面影响，因此光刻过程中需要保持掩膜版的干净。


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