掩膜版 光掩膜基版 光掩膜 光刻掩膜版
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光刻掩膜版等级规格
【2021-07-24】

目前光刻掩膜版的等级规格主要以尺寸、精度、以及基板材料为维度进行划分。

光刻掩膜版常用的的基板材料有石英玻璃和苏打玻璃，石英玻璃热膨胀系数较小，但价格较为昂贵，苏打玻璃热膨胀系数较高，需要根据不同的光刻机及曝光参数进行特殊的修调，优点是价格低廉。

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