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光刻掩膜版线宽对光刻光强的影响
2021-09-30
光刻工艺其实就是一系列图形转移的过程,类似于照片印刷。首先,通过特定方式将版图转移到 掩膜版 表面。光刻过程中,光线透过掩膜版在硅片表面的...
电路信息怎么转移到光刻掩膜版?
2021-09-24
光刻掩膜版 其实就是电路信息转移的工具,首先是使用软件,绘制出所需的图形,也就是电路信息,然后把版图文件信息传输进光刻机,通过投影和离子...
为什么说掩膜版是光刻工艺中的消耗品?
2021-09-18
掩膜版 是转移图形的工具,光刻掩膜版的作用就是为了将电路信息图形转移到硅片或者玻璃衬底上,每个掩膜版所能够绘制的电路信息图形是有限的,而...
光刻掩膜版的维护
2021-09-15
在 光刻掩膜版 使用的过程中,存在不同的损伤可能性,比如光刻掩膜版的铬层脱落,铬层表面有擦伤,灰尘及细小颗粒,静电放电等等。 避免光刻...
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