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金属掩膜版是半导体领域必不可少的工具,目前国内主要生产金属掩膜版的公司有深圳市鸿浚通科技有限公司;南京澄超光电科技有限公司;湖南省鸿宇通光电有限责任公司;南京高光半导体材料有限公司;东莞雅格蚀刻元器件有限公司;深圳市益永达电子有限公司;东莞坤耀金属制品有限公司;客言佳电子有限公司等。
光刻工艺对掩膜版的质量要求
正性光刻对掩膜版有何要求