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光刻板和光刻掩膜版没有区别。
光刻掩膜版是光刻工艺中重要的材料之一,业内又称光罩版,掩膜版,光刻版。在传播中又形成了光刻板这个名称,实际没有区别。
无掩膜版光刻的问题
光刻掩膜版的寿命