光刻掩模版主要由两个部分组成，不透光材料与掩模基板。光刻版也被称作铬版，就是指在苏打玻璃或石英玻璃上通过溅射的方式镀一层铬层，铬层就是不透光材料，不同的光刻版，掩模基板材料和不透光材料不同。光刻掩模版是通过光刻制作工艺，将图案刻制在光掩模基板上，然后制作成光刻掩模版。光刻掩模版的用途主要是图像复制，通过透光与不透光，进行电路图形的复制。