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制作光刻掩膜版用什么设备?
【2021-07-24】

制作一块光刻掩膜版并不仅仅是一台光刻机就能完成的,而是需要一整条完整的产线。

首先是在掩膜版基板上覆盖一层材料,覆盖的材料包含乳胶、铬等材料;接下来就是进行光刻步骤,硅时代目前引进的光刻机分别是德国的ULTRA200光刻机,适用于IC 0.28um等级的产品,以及瑞典的SLX2光刻机,适用于IC 0.13um等级的产品;光刻之后掩膜版需要进行检测,检测掩膜版无缺陷后才能出货,这一步会用到检测设备;如果掩膜版需要贴膜保存,还需要进行清洗、贴膜的步骤,需要用到清洗设备以及镀膜机。


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