掩膜版有多个名称，也称作光刻掩膜版、光罩、光刻版、掩膜基板、光掩模等等，是用来制作掩膜图形的面板，常在芯片制作过程中使用，是图形转移的工具。

掩膜版的制作是有工程师自己设计图形提交，光刻机进行掩膜版制作将图形加工在掩膜版上，掩膜版制作完毕后通过曝光等工艺，将掩膜版上的图形转移至硅片或其他载体上，从而进行后续的加工工艺。