制作光刻掩膜版需要使用相关软件制作版图。

　　制作版图时，可以先使用ppt或者其他简单的绘图软件设计pattern，在此基础上，依据具体的图形大小、间距，使用Coredraw、CAD、L-edit等矢量图制作软件再次准确绘制，获得光刻掩膜版制造方需要的版图格式文件。